Page 74 - Стасишин Дисертація

74

За такої умови, наношорсткі поверхні, на яких перепад висоти не перевищує чверті

довжини хвилі лазера, можна відтворювати без великих похибок.

Сучасні підходи аналізу поверхонь матеріалів базуються на виділенні

компонент рельєфу за просторово-частотними ознаками. Зазвичай відбувається

виділення двох компонент рельєфу, а саме високочастотна складова, яка називається

шорсткістю та компоненти в середній області частот, що відповідають хвилястості.

Низькі частоти рельєфу описують форму рельєфу. Обидві компоненти рельєфу

профілю характеризуються стандартизованими параметрами, які описуються

міжнародними ISO-стандартами. Серед цих параметрів особливе значення для

аналізу наношорстких поверхонь мають такі параметри: – висота нерівностей

профілю за десятьма точками; – середнє арифметичне відхилення профілю; –

середнє квадратичне відхилення профілю. Ці параметри можна описати такими
формулами:

∑ 5 | |+∑ 5 | |

= =1 =1 , (2.15)

5

1
= ∫ |()| , (2.16)

0

1

= √ ∫ () , (2.17)
2

0

де – висота i-го найбільшого виступу (піка) профілю, – глибина i-ї найбільшої

западини профілю, – базова довжина.

Якщо розглядати рельєф наношорсткої квазіплоскої поверхні за просторово

частотними ознаками можна виділити лише дві компоненти рельєфу:

високочастотну, яка називається шорсткістю або нанорельєфом та низькочастотну,

яка буде включати в себе і форму і хвилястість, яка називається макрорельєфом.

Термін «нанорельєф» означає, що середньоквадратичне відхилення

шорсткості поверхні не перевищує десятків нанометрів для поверхонь, які