Page 76 - Стасишин Дисертація

76

відносно свого початкового стану a 1 = 0 на кути a 21 і a 31 від 0 до π. За допомогою

ФЗП та блока керування формували плавний зсув фази опорного променя за рахунок

пересування ПЗП 7 і приєднаного до нього дзеркала 4. Інтерферограми реєстрували

за довільних фазових зсувів під час проходження дзеркалом 4 фазової віддалі від 0°

до 180°. Зміни фази не перевищували 10° під час реєстрації кожної з інтерферограм.

Для дотримання вимог теореми відліків до інтервалу дискретизації

інтерферограм під час їх реєстрації матричним фотосенсором камери розмірністю

1024×768 пікселів ми вибрали інтервал дискретизації t s = 2,0 мкм, за якого лінійне

збільшення оптичної схеми інтерферометра Тваймана–Гріна становило M l = 2,325,

оскільки крок між пікселями фотосенсора ПЗЗ-камери Imaging Sourse становить

4,65 мкм. Таке збільшення дає можливість реєструвати ділянку поверхні КМД

2
площею 2,048×1,536 мм .
Для реалізації МТКІ використовували гаусівський НЧ фільтр із нормованими

просторовими частотами відсічки, рівними (f c0) n = 0,21 і f cn = 0,035 для першої і другої

ітерацій (кроків) відповідно. Сліпі фазові зсуви обчислювали за зареєстрованими

інтерферограмами, використовуючи для цього спеціальну програму обчислення α 21 і

α 31 за формулами (2.2) і (2.3). За допомогою цієї ж програми за необхідності

обчислюють також фазовий зсув α 32. За допомогою вказаної програми обчислювали

фазові зсуви, які становили α 21 = 23,4° і α 31 = 79,5°, та, вводячи їх значення у програму

реалізації МТКЕ, обчислювали просторові фазові розподіли проміжних фазових мап,

кінцевих фазових мап 3D шорсткості і хвилястості ділянки поверхні КМД і кінцеву

мапу фазового рельєфу цієї ділянки.

Початкові три інтерферограми, які були зареєстровано за допомогою створеної

експериментальної установки, показано на рис. 2.20.