Page 71 - Стасишин Дисертація

71

час реєстрації інтерферограми за нерухомих оптичних і фазозсувних елементів

інтерферометра описується будь-яким рівнянням із системи рівнянь (2.1), а під час

плавного фазового зсуву опорного хвильового фронту фундаментальне рівняння має

такий вигляд [27]:

′
′′
(, ) = (, ) + (, )(∆ )cos [(, ) + ()], (2.13)

′′
де (x,y)=I o(x,y)+I r(x,y) – середня (фонова) інтенсивність інтерферограми у будь-якій
точці площини (x,y), φ(x,y) = φ o(x,y)–φ r(x,y) – шукана фаза хвильового фронту,

φ o(x,y) – розподіл фаз у предметному хвильовому фронті, φ r(x,y) – розподіл фаз у

опорній хвилі, δ(t) – часовий фазовий зсув опорного променя, γ(Δ t) – функція

передачі модуляції (ФПМ). Зауважимо, що ФПМ для плавного зсуву фази має вигляд

∆
(∆ ) = sin ( ), (2.14)

2

де () = , а для покрокового зсуву фази ( ) = 1.

Легко показати, що за малих значень Δ t вплив ФПМ на вихідний сигнал

практично відсутній. Так, за плавної зміни δ(t) для Δ t = 90° маємо γ = 0,9, а для Δ t = 45°
одержуємо γ = 0,97 [71]. Якщо налаштувати ФЗП так, щоб час плавного зростання

напруги, що пересуває дзеркало ФЗЕ від 0 до 180°, становив T = 3 с, а час реєстрації
j-ї інтерферограми – τ j = 0,18 с, то у цьому випадку γ = 0,9985, тобто γ практично не

відрізняється від ФПМ для покрокових зсувів фази. Отже, за відношення µ= τ j/ T

<0,06 ніякої різниці між ФПМ для плавного і покрокового зсувів фаз немає.

На рис. 2.17 наведено три інтерферограми плоскої наношорсткої поверхні,

першу з яких отримано без подання напруги (0 В), другу – за напруги 12 В, а третю

– за напруги 20 В. Під час експерименту час плавного зростання напруги T = 3,0 с, а

час експозиції τ j= 0,001 с. Згідно з формулою (2.14) маємо γ = 1,00, тобто ФПМ для

плавного зсуву фази за таких малих експозицій залишається таким, як і для

покрокового зсуву.