Page 72 - Стасишин Дисертація

72

а) б) в)

Рисунок 2.17 – ІП за подання напруги на ФЗЕ: а) 0 В; б) 12В; в) 20 В

2.7 Експериментальна установка для відбору інтерферограм поверхні

Схему експериментальної установки для реєстрації та обробки інтерферограм,

а також для проведення тестових експериментів з метою перевірки МТКІ, наведено

на рис. 2.18. Вона містить інтерферометр Тваймана–Гріна, до складу якого входить:

одномодовий газовий лазер ЛГН-215 (довжина хвилі випромінювання λ =632,8 нм та

потужність 40 мВт); оптико-механічний вузол просторової фільтрації та колімації

лазерного пучка 1; світлоподільник 2 для формування опорного та предметного

пучків; ФЗП, що складається з ПЕП (п’єзокерамічної пластини) 6 і прикріпленого до

неї дзеркала 3, та електронного блока плавного лінійного переміщення ФЗЕ 7;

спеціальний кондуктор 9 для точного позиціонування і утримання досліджуваного

зразка 8; цифрову ПЗЗ-камеру 5 (SONY XCD-SX910 FirewareCamera, 1/2’’ IT CCD-

SXGA, 1280(H)´960(V), розмір піксела 4,65×4,65 мкм і крок піксела 4,65 мкм у двох

ортогональних напрямках) з об’єктивом 4; комп’ютер 11 для обробки ІП та побудови

РП за розробленим МТКІ з двома довільними ЗФОП.