Page 73 - Стасишин Дисертація

73

7

6

3 8
8 9

2

1

10
4

5

11

Рисунок 2.18 – Склад експериментальної установки для формування,

реєстрації та обробки ІП: 1 – розширений лазерний пучок (λ = 632,8 нм);

2 – світлоподільник; 3 – дзеркало в плечі опорного променя інтерферометра

Тваймана–Гріна; 4 – об’єктив; 5 – цифрова відеокамера; 6 – п’єзокераміка;

7 – блок керування; 8 – об’єкт дослідження; 9 – кондуктор; 10 – ділянка
поверхні; 11 – комп’ютер

2.8 Експериментальна апробація та вибір модельного об’єкту досліджень

Створений та оптимізований МТК в силу своїх обмежень може працювати для

відтворення рельєфу наношорстких поверхонь, шорсткість яких відповідає 14-11

класам шорсткості поверхні. Таке обмеження діапазону класів шорсткості можна

пояснити тим, що лазер, який використовують для формування та фіксування

необхідних трьох інтерферограм, працює на довжині хвилі у видимій області

оптичного спектру. Отже, за теоремою Шеннона, перепад висоти між сусідніми

відліками (в нашому випадку пікселі на фотоприймачі) не може бути більшим за λ/4.