Page 78 - Стасишин Дисертація
P. 78
78
а б
Рисунок 2.21 – Згорнуті фазові мапи макрорельєфу і хвилястості: а) ФМ
макрорельєфу [ (, )] , отримана після 1-ї ітерації і використання НЧ фільтра
f c0; б) ФМ хвилястості [(, )] , отримана у процесі виконання 2-ї ітерації і
використання НЧ фільтра f c
На рис. 2.22 наведено отримані внаслідок виконання усіх етапів реалізації
методу трикрокової інтерферометрії з довільними зсувами фази опорного променя
кінцеві очищені від шумів і завад фазові мапи 3D хвилястості (рис. 1.24,а), 3D
шорсткості (рис. 2.22,б) та повного рельєфу (рис. 2.22,в,г) ділянки поверхні КМД .
