Page 75 - Стасишин Дисертація

75

освітлюють лазерним випромінюванням видимого діапазону. Макрорельєф в свою

чергу включає в себе форму поверхні та деформації більші за базову довжину. Також

до нього можна включити форму та нахил поверхні відносно падаючого освітлення

на неї. Такий нахил хвильового фронту може виникнути під час реєстрації

інтерферограм поверхні за допомогою інтерферометра, в якому не вдалось провести

юстування досліджуваного об’єкту перпендикулярно до напрямку спостереження.

За потреби можна провести компенсацію цього нахилу, вилучивши його з

макрорельєфу. На рис. 2.19 представлено схематичний розподіл компонент рельєфу,

зокрема хвилястість (рис. 2.19,б) та шорсткість (рис. 2.19,в).

а
а
ψ

б б

Δψ m ω l
m

в
в

ψ
~

Рисунок 2.19 – Фазові профілі рельєфу наношорсткої поверхні (а),

макрорельєфу (б) і шорсткості (нанорельєфу) (в): lm – середня лінія профілю

рельєфу, ω – кут нахилу площини макрорельєфу

2.9 Відтворення ділянки поверхні кінцевої міри довжини за допомогою методу

трикрокової інтерферометрії з довільними зсувами фази

Під час формування інтерферограм з довільними зсувами фаз a 21 = a 2 – a 1 і

a 31 = a 3 – a 1 з блока керування 8 (див. рис. 2.14) на ФЗЕ подавали напругу U ph у межах

0 < U ph ± 36 В, в результаті чого формували опорний пучок, зсунутий за фазою