Page 67 - Стасишин Дисертація

67

похибки, викликані випадковими осциляціями ФЗЕ після його зупинки, не

впливатимуть на якість (контраст) зареєстрованих інтерферограм.

Положення ФЗЕ Інтенсивність

1 2 3 4 5 1 2 3 4 5

Кроки Кроки

Рисунок 2.13 – Діаграми покрокової зміни фази для трьох довільних фазових

зсувів

У фазозсувному інтерферометрі необхідно забезпечити калібрування ФЗЕ, яке

давало би змогу здійснювати зсув фази опорного променя на заданий кут. У

більшості фазозсувних алгоритмів усі послідовні зсуви фаз є однаковими і

становлять 2π/J. Для відтворення об’єкта з низьким рівнем завад похибка

позиціонування ФЗЕ не повинна перевищувати десятих долей градуса. Тому

точність фазового зсуву є одним із визначальних параметрів для комерційних ФЗЕ,

серед яких найбільш поширеними є п’єзоелектричні. Розрізняють два типи

п’єзоелектричних ФЗЕ. Перший забезпечує лінійну залежність переміщення від

поданої напруги завдяки системі керування зі закритим зворотним зв’язком і дає

можливість досить точно встановити заданий фазовий зсув. Другий

характеризується нелінійною залежністю переміщення від напруги і не має такої

точності, як перший. Однак навіть ФЗП другого типу мають досить високу вартість.

На сьогодні розроблено низку дво- і трикрокових фазозсувних методів і

алгоритмів, у яких фазові зсуви є довільними у певному кутовому інтервалі

(наприклад, від 0 до π) [84-88]. Для їх реалізації відсутня необхідність калібрування