Page 83 - Стасишин Дисертація

83

гомалі. Таким чином, за використання мікроскопа у складі профілометра у його

конструкцію ніякі зміни не вносяться.

Структуру профілометра показано на рис. 2.24. До його складу також входить

ГПН, з якого за командою з комп’ютера пилкоподібна напруга подається на ФЗЕ.

Об’єкт дослідження

Інтерферометрична
насадка

Мікроскоп

Генератор
пилкоподібної
напруги

Відеокамера

Комп’ютер

Рисунок 2.24 – Структура оптичного профілометра

На рис. 2.25 показано оптичну схему ІН, а фігурними стрілками – хід променів

у ній. ІН складається з лазера, розширювача лазерного променя, світлоподільника та

глухого металевого дзеркала, яке закріплене на ФЗЕ (п’єзокерамічному

перетворювачі). Конструкція ІН кріпиться до оправи об’єктива мікроскопа. Якщо

використати мікроскоп МБС-10, то ІН можна кріпити на місце освітлювача, що

входить до комплекту мікроскопа. Загальне розташування складових частин

профілометра на базі МБС-10 показано на рис. 2.26.