Page 65 - Стасишин Дисертація

65

2.5 Експериментальна верифікація методу трикрокової фазозсувної

інтерферометрії

Експериментальну перевірку МТКІ здійснювали на установці, побудованій на

базі інтерферометра Тваймана–Гріна. Для експериментів використовували еталонні

зразки з відомими параметрами шорсткості, зокрема, сталеву кінцеву міру довжини,

шорсткість поверхні якої відповідає 13 класу [89]. Щоб забезпечити плавний зсув

фази опорного пучка в інтерферометрі, необхідно було виготовити фазозсувний

пристрій (ФЗП), який здійснює плавне пересування прикріпленого до п’єзоелемента

(п’єзокераміки) дзеркала у плечі опорного пучка інтерферометра Тваймана–Гріна

(схему інтерферометра наведено на рис. 2.12). Тому для повного опису

експериментальної установки попередньо наведемо дані про принципи реалізації

плавного фазового зсуву в інтерференційних системах і будову ФЗП, який

розроблено і створено для формування послідовних циклів плавної зміни фази в

опорному плечі інтерферометра і реєстрації необхідної кількості інтерферограм

лише за один такий цикл.

Фотокамера

Об’єктив
К
Лазер Р

Об’єкт

СП

Дзеркало

ПЗК

Рисунок 2.12 – Схема інтерферометра Тваймана–Гріна: Р – розширювач

лазерного пучка; К – коліматор; СП – світлоподільник, ПЗК – п’єзокераміка