Page 96 - ДисертСемак2

96

діапазону 20..70 мкм -0,022%/мкм. На основі цього можна припустити про

наявність в цих двох областях різних механізмів, які спричиняють зміну

швидкості поверхневої акустичної хвилі. Також важливою є величина зміни

швидкості поверхневої акустичної хвилі залежно від товщини шару

зішліфування. На рис. 4.7 показана залежність зміни швидкості від частоти

поверхневої акустичної хвилі для різних глибини зішліфування. Як видно із

графіків, із збільшенням товщини зішліфування зменшується частотна

залежність зміни швидкості поверхневої акустичної хвилі. Якщо для

початкового зразка зміна швидкості для хвиль в діапазоні частот від 3 до 9

МГц становить 2,85% то у випадку глибини зішліфування 20 мкм ця

величина становить 0,75%, для глибини зішліфування 30 мкм вона становить

0,45%, для глибини зішліфування 50 мкм – 0,2%, для глибини зі шліфування

60 мкм – 0,15% і для глибини зішліфування 70 мкм – 0,1%. Ці дані також

показують наявність двох ділянок в залежності від глибини зішліфування.

Окрім швидкості поверхневих акустичних хвиль були проведені

металографічні дослідження. Досліджувалась поверхня зразка,

перпендикулярна до поверхні обробленої абразивно-струменевим методом.

100 мкм

Рис. 4.8. Структура приповерхневого шару сталі після абразивно-

струменевої обробки.