Page 95 - ДисертСемак2

95

зменшується для поверхневих акустичних хвиль всіх частот. На графіках

можна виділити дві області. Одна відповідає глибині зішліфування 0..20 мкм,

а інша – 20..70 мкм. На першій ділянці зміна швидкості зменшується для

поверхневої хвилі частотою 9 МГц з величини -4,25% до величини -1,35%,

для поверхневої акустичної хвилі частотою 6 МГц з величини -2,05% до

величини -0.9%, для поверхневої акустичної хвилі частотою 3 МГц з

величини -1,35% до величини -0,6%. На ділянці 20-70 мкм зміна швидкості

становить для поверхневої акустичної хвилі частотою 9 МГц з величини –

6
∆V/V, % 5
4
-1 3
2

-2

-3

-4
1

-5
0 2 4 6 8 f, МГц

Рис.4.7. Зміна швидкості з частотою поверхневої акустчиної хвилі для

різних глибин зішліфування: 1– h=0 мкм, 2 – h=20 мкм, 3 – h=30 мкм, 4 –

h=50 мкм, 5 – h=60 мкм, 6 – h=70 мкм.

1,35% до величини -0,25%, для хвилі з частотою 6 МГц з величини-0,9% до

величини -0,2%, для хвилі з частотою 3 МГц з величини -0,6% до величини -

0,15%. Таким чином коефіцієнт нахилу залежності зміни швидкості від

товщини зішліфування буде в цих двох ділянках суттєво відрізнятися.

Наприклад, для поверхневої акустичної хвилі частою 9 МГц коефіцієнт

нахилу буде становити для діапазону 0..20 мкм -0,145 %/мкм, а для