Page 87 - Стасишин Дисертація

87

Висновки до розділу 2

Розроблений МТКІ має декілька спільних ознак і властивостей із методами

M1, M2 і ВМ2. Зокрема, у ньому також використовують кореляційний підхід до

визначення невідомих фазових зсувів опорного променя між інтерферограмами.

Однак у ньому використовують три інтерферограми замість двох, які застосовують

у вказаних методах. Водночас важлива особливість методу полягає у тому, що не

потрібно додатково реєструвати просторові розподіли інтенсивності опорного і

предметного пучків. Такий принцип реєстрації двох інтерферограм та опорного і

предметного хвильових фронтів призводить до великих часових затрат, пов’язаних

із необхідністю дотримання довгих пауз після кожної реєстрації хвильового фронту

або інтерферограми через вібрації ФЗЕ. На противагу двокроковим методам, МТКІ

може використовувати принципи швидкої реєстрації інтерферограм за плавного

зсуву фазового фронту опорної хвилі. Тому МТКІ можна використовувати для

реєстрації кінетики зміни поверхні під дією механічних навантажень або агресивних

середовищ, причому швидкодія методу залежатиме в основному від можливостей

блоків керування процесами реєстрації інтерферограм. Крім того, МТКІ має

можливість екстрагувати як високочастотні, так і низькочастотні складові рельєфу

поверхні, включаючи 3D шорсткість і 3D хвилястість.

МТКІ базується на принципах однохвильової фазозсувної інтерферометрії.

Тому він ефективний лише для відтворення гладких, наношорстких і частини мікро

шорстких поверхонь, якщо лазерне джерело генерує випромінювання у видимій або

близькій інфрачервоній областях спектра електромагнітного випромінювання.

Водночас використання двохвильової або багато хвильової ФЗІ, у якій можна буде

використати МТКІ, дасть змогу значно розширити діапазон відтворення шорстких

поверхонь, параметри шорсткості яких досягають одиниць, десятків і навіть сотень

мікрон.