Page 84 - Стасишин Дисертація
P. 84
84
Об’єктив
Світло-
подільник мікроскопа
Дзеркало
Лазер Розширювач
Фазозсувний
елемент
Розширений
лазерний промінь
Об’єкт
дослідження
Рисунок 2.25 – Оптична схема інтерферометричної насадки
Загальний вигляд пристроїв та оптичних деталей, що входять до складу
профілометра (крім мікроскопа) показано на рис. 2.27. Як джерело когерентного
випромінювання в приладі використано лазерний модуль – одномодовий
напівпровідниковий лазер з розширювачем лазерного променя. Світлоподільником
служить призма-куб з металічним напівпрозорим покриттям.
