Page 85 - Стасишин Дисертація
P. 85

85







                                                                            Відео-
                                                                            камера








                               лаз
                               ер















                  Рисунок 2.26 – Розташування інтерферометричної насадки та відеокамери в

                                              профілометрі на базі МБС-10





                                               Відеокамера з
                                               перехідником






                                                  Лазерний
                                                   молуль
                                                                         ФЗЕ





                                                           Світлоподільник





                                                                       Зразок




                Рисунок 2.27 – Пристрої та оптичні деталі, що входять до складу профілометра

                                                     (крім мікроскопа)
   80   81   82   83   84   85   86   87   88   89   90