Page 86 - Стасишин Дисертація
P. 86
86
Загальний вигляд створеного оптичного 3D профілометра показано на
рис. 2.28. У ньому, крім вище перелічених вузлів та деталей, використано
стандартний двокоординатний столик, на якому кріпиться досліджуваний зразок.
Такий столик дає змогу прецизійно (з похибкою ± 10 мкм) пересувати зразок за
двома координатами та повертати навколо вертикальної осі.
Рисунок 2.28 – Загальний вигляд оптичного 3D профілометра
На початку досліджень (перед реєструванням інтерферограм поверхні)
необхідно отримати на фотосенсорі відеокамери сфокусоване зображення цієї
поверхні. Це легко реалізується пересуванням мікроскопа разом з ІН вздовж
вертикальної осі. При цьому вимикають лазер і вмикають освітлювач, що входить до
комплекту мікроскопа, або використовують будь-яке інше джерело білого світла.
