Page 145 - ДисМокрий21

145

нерівностей шорсткої поверхні, r – середній радіус кривизни нерівностей

поверхні зразка.

В цьому методі поверхню зразка розбивали на окремі ділянки, розсіяння

W, мм

3

2

1

0 0.05 0.1 0.15 r, мм
Рис. 2.27. Залежність чутливості інтерферометра Майкельсона W від

радіуса зондуючого променя r.

на яких розглядається як дзеркальне відбивання. Відповідно, на поверхні

фотоприймача тоді формується неоднорідна спекл-картина, яку інтегрально

реєстрували. Таким чином, сигнал суттєво залежить від характеристик

шорсткої поверхні, розмірів фотоприймача та розмірів оптичного пучка на

поверхні зразка. Для знаходження оптичного поля на поверхні фотоприймача

використовували вираз (2.15). На основі математичної моделі отримано

залежності чутливості методики від різноманітних параметрів. Деякі отримані

результати представлені на рис. 2.26, 2.27.

Як видно з рис. 2.26, збільшення шорсткості призводить до зменшення

-5
сигналу інтерферометра, причому для неоднорідностей поверхні в межах 2·10
-4
– 10 мм чутливість змінюється мало.
На рис.2.27 представлена залежність чутливості від радіуса чутливої

ділянки фотоприймача. Видно, що максимальна чутливість буде за значень

радіуса, меншого за 0,03 мм. Цей ефект, можливо, пов’язаний із відповідними

розмірами спеклів, які виникають у випадку розсіяння світла на шорсткій