Page 119 - ДисМокрий21

119

можна побачити по модуляції сигналу відповідно до коливань дзеркала. Із

збільшенням ширини променя глибина модуляції суттєво зменшується. Такі

дані відповідають результатам числового експерименту, які приведено на рис.

2.6. З цих результатів видно, що за значень r > 1 мм чутливість від величини d

залежить слабо. Відповідно глибина модуляції також із збільшенням розміру

пучка повинна зменшуватись. Дані експерименту показують, що за величини

r = 1,5 мм модуляція сигналу є суттєво меншою порівняно із меншими

значеннями ширини пучка і становить ~ 7% (рис.2.7).

В процесі числового моделювання роботи інтерферометра Майкельсона

приймалось, що розподіл фази відбитого лазерного променя відповідає

миттєвому зміщенню по-
Оптична
хвиля x верхні зразка під дією
Поверхня ПАХ. Для аналізу цього

y зразка з ПАХ
припущення було прове-
Ділильна
призма дено визначення опти-
Відбита чного поля зондуючого

x’ оптична хвиля
лазерного променя шляхом

y’ Фотоприймач числового моделювання.
Розглядали дзеркальну по-
Рис. 2.8. Частина схеми інтерферометра для
верхню зразка, по якій
реєстрації ПАХ.
поширюється ПАХ. При-

пускали, що амплітуда ПАХ є суттєво меншою за довжину оптичного

випромінювання.

На рис. 2.8 показано частину схеми інтерферометра, яка ілюструє його

роботу. На чутливій ділянці фотоприймача утворюється інтерференційна

картина, яка є результатом інтерференції опорної хвилі і відбитої від поверхні

зразка. Для аналізу чутливості інтерферометра під час реєстрації ПАХ

необхідно розглянути оптичне поле хвилі, яка відбилася від дзеркальної

поверхні зразка, по якій поширюється ПАХ. Чинниками, які є важливими для