Page 116 - ДисМокрий21

116

ускладнює роботу інтерферометра в умовах вібрацій. В цій частині отримані

результати узгоджуються з відомим фактом про залежність чутливості від

різниці ходу, про що говорилось у розділі 1.

У випадку, коли ширина променя r є співмірною із довжиною ПАХ,

залежність чутливості від d зменшується. Але з другого боку, з графіків (рис.

2.6 а, б, г, д, е) видно, що сама величина чутливості за збільшення ширини

променя також зменшується. Окремо стоїть випадок, коли довжина ПАХ

дорівнює ширині інтерференційної смуги, який характеризується тим, що

чутливість не зменшується за зростання радіуса оптичного променя (рис. 2.6, в).

Таким чином, в цьому випадку за достатньо великого радіусу променя

чутливість інтерферометра не залежить від різниці ходу і не зменшується. На

основі отриманих результатів числового моделювання можна стверджувати, що

знайдена геометрія, за якої L = Λ і ширина оптичного променя більша за

довжину ПАХ, що дозволяє проводити реєстрацію ПАХ в умовах вібрацій та

температурних дрейфів.

Результати числового моделювання були експериментально перевірені. На

поверхні зразка збуджували ПАХ частотою 2,5 МГц з допомогою призмового

п’єзоелектричного перетворювача. Аналогічний перетворювач використо-

вувався для реєстрації ПАХ. Також ПАХ реєструвалась з допомогою

інтерферометра Майкельсона згідно запропонованої схеми. В інтерферометрі

використовували He-Ne лазер з довжиною хвилі 0,6328 мкм. Дзеркало

інтерферометра було закріплене на п’єзоелектричній шайбі, яка дозволяла

поступально зміщувати його за подачі на неї керуючої напруги. На шайбу

подавалась змінна напруга частотою 46 КГц, що призводило до періодичної

зміни різниці ходу d. Коливання дзеркала імітувало паразитні вібрації і

дозволяло дослідити їх вплив на чутливість вимірювальної схеми.

Інтерфернційну картину реєстрували фотоприймачем, сигнал підсилювали з

допомогою смугового підсилювача подававли на осцилограф. Центральна