Page 115 - ДисМокрий21

115

стання інтерферометра Майкельсона для реєстрації ПАХ (рис. 2.6 е). Як видно

з приведених залежностей, чутливість вимірювальної схеми сильно залежить

W, в.о. W, в.о.
4 4

2 2

0 0 0
0 100 0,8 r, мм
100 0,8 r, мм 200 1,6
200 1,6
d, нм d, нм
а б

W, в.о. W, в.о.

4 4

2 2

0 0
0
0 100 r, мм
100 0,8
0,8 r, мм 200
200 1,6 1,6
d, нм d, нм
в г
W, в.о. W, в.о.
4
4
2
2

0
0 0 0
100 0,8 r, мм 100 0,8 r, мм
200 1,6 200 1,6
d, нм d, нм

д е

Pис. 2.6. Залежність чутливості від радіуса оптичного променя r та

різниці ходу d, довжина ПАХ Λ=1 мм: а − L=0, 4 мм, б − L=0,8 мм, в –

L=1 мм, г − L=1,2 мм, д − L=2 мм, е − L=100 мм.

від різниці ходу і в деяких положеннях дорівнює нулю. Це показує необхідність

стабілізувати різницю плеч інтерферометра з точністю до десятих мкм, що