Page 109 - ДисМокрий21

109

Ще один метод боротьби із нестабільністю різниці ходу променів полягає

у реєстрації двох інтерференційних картин, в яких різниця фаз променів, що

інтерферують, відрізняється на λ/4. Таким чином, існує ряд методів, які

дозволяють боротися із нестабільністю чутливості інтерферометра. Проте вони

в тій чи іншій мірі вимагають ускладнення вимірювальної схеми або процесу

вимірювань. Нами запропоновано новий простий метод, який дозволяє

проводити реєстрацію ПАХ в умовах вібрацій та температурних дрейфів без

ускладнення схеми інтерферометра Майкельсона [260 – 264].

В основі запропонованого методу стабілізації чутливості інтерферометра

лежить різниця між зміщенням поверхні, створена низькочастотною вібрацією і

ПАХ. ПАХ зумрвлює просторово-періодичну картину зміщень поверхні, в той

час як низькочастотні вібрації призводять до паралельного зміщення всієї

поверхні зразка. Ця відмінність може бути виявлена за умови достатньо

широкого зондуючого оптичного променя. У традиційній схемі у випадку

реєстрації ПАХ з допомогою інтерферометра Майкельсона ширина зондуючого

променя є значно меншою за довжину хвилі [178]. У випадку збільшення

ширини променя сигнал зменшується, оскільки різні частини променя мають

зсув фаз з різним знаком і отримані від них сигнали взаємно компенсуються.

Нами пропонується схема реєстрації ПАХ (рис.2.5), за якої діаметр

зондуючого променя є співмірним чи більшим за довжину хвилі. Для того, щоб

сигнал при цьому не зменшувався, створюється просторово-модульована

інтерференційна картина. Ця картина виникає внаслідок нахилу одного з

променів інтерферометра на певний кут. Таким чином промені, що

інтерферують падають під певним кутом між собою, і створюють періодично-

модульовану інтерференційну картину. Ця стаціонарна інтерференційна

картина, в якій інтенсивність змінюється по періодичному закону, накладається

на просторово-періодичну інтерференційну картину, створену ПАХ.

Інтерференційні лінії, створені цими картинами паралельні, а ширина

підбирається однаковою. Їх відмінність в тому, що в стаціонарній картині зміна