Page 108 - ДисМокрий21

108

зразка. Низькочастотні вібрації та температурні дрейфи призводять до

неконтрольованої зміни різниці ходу, що може спричинити суттєве зменшення

чутливості.

В наш час відомо кілька методів боротьби з цим ефектом. Один з них

полягає у кріпленні дзеркала інтерферометра на п’єзоелектричній шайбі і

подачі на неї керуючої напруги для зміщення дзеркала інтерферометра.

Керуюча напруга за рахунок оберненого зв’язку задається такою, щоб

компенсувати низькочастотні вібрації та температурні дрейфи [150]. Таким

чином, стабілізують різницю ходу променів, що інтерферують. Інший шлях

полягає в тому, щоб задати коливання дзеркала інтерферометра і проводити

багатократні вимірювання [150]. В цьому випадку у певних положеннях

дзеркала інтерферометра вимірювальна схема буде мати чутливість, достатню

Дзеркало

Зразок із ПАХ
Лазер

Інтерференційна картина

Фотоприймач

Рис. 2.5. Схема стабілізованого по чутливості інтерферометра

Майкельсона.

для вимірювань. Серед багатьох вимірювань використовують лише ті, у яких

чутливість інтерферометра є достатньо висока.