Page 107 - ДисМокрий21

107

інтенсивності інтерференційної картини від зміщення. У випадку використання

He–Ne лазера з довжиною хвилі 0,6328 мкм необхідно забезпечити величину

зміщення більшу за 158 нм. Це достатньо велике зміщення поверхні зразка, для

створення якого необхідні відносно великі потужності. Тому для створення

такого зміщення поверхні було використано коливання дзеркала

інтерферометра, яке закріпили до п’єзоелектричної кераміки. П’єзоелектрична

кераміка коливалась в резонансному режимі з великою амплітудою, яка

передавалась на дзеркало. Осцилограма отриманого сигналу з фотоприймача

осцилографа показана на рис. 2.4. Відповідно, величина сигналу відповідає

зміщенню поверхні зразка на величину більшу 158 нм. Ураховуючи залежність

амплітуди сигналу від амплітуди зміщення, можна оцінити його мінімальне

значення, яке можна зареєструвати даним інтерферометром. Знаючи величину

калібрувального сигналу, можна встановити величину зміщення поверхні

досліджуваного зразка внаслідок проходження УЗ-хвилі. Даним методом

оцінено мінімальне значення амплітуди сигналу, який може бути

зареєстрований створеним макетом інтерферометра. Значення мінімальної

амплітуди УЗ-хвилі, яку можна зареєструвати даним інтерферометром складає

0,5 нм. Ця величина достатня для прийому УЗ хвиль, які використовують в

ультразвуковому контролі.

2.1.2. Стабілізований відносно вібрацій інтерферометр Майкельсона

для реєстрації ПАХ

Як показано в розділі 1, чутливість інтерферометра Майкельсона залежить

від положення робочої точки. Інтерферометр має нульову чутливість коли

різниця ходу між променями, що інтерферують, становить nλ/2, де λ – довжина

хвилі світла, n – ціле число [167, 168]. Налаштування інтерферометра дозволяє

створити різницю ходу, яка відмінна від цього значення і забезпечує достатню

чутливість до малих зміщень, які створює проходження ПАХ по поверхні