Page 47 - Стасишин Дисертація

47

двокрокового методу, який запропонували Муравський Л.І., Вороняк Т.І. та Кметь

А.Б. [78]. Проте в МТКІ є ряд змін та доповнень щодо відбору початкових даних,

отримання кута зсуву та виділення компонент рельєфу (хвилястість та шорсткість).

Запропонований метод МТКІ – це модернізований метод обробки трьох ІП, які

різняться двома довільними ЗФОП та відсутністю при реєстрації опорного та

предметного променя. Далі розглянемо практичну реалізацію методу МТКІ під час

відтворення рельєфу гладкої поверхні (11…14 класи шорсткості).

2.1.1 Перший етап методу

За допомогою інтерферометра, що побудований, наприклад, за схемою

Тваймана-Гріна з джерелом когерентного світла (далі лазер), реєструють три ІП, які

відрізняються між собою ЗФОП , та . Над цими ІП проводять операції для

відтворення ФМ (, ) РП у кожному , -му пікселі. Ці ІП описують такими трьома
фундаментальними рівняннями фазозсувної інтерферометрії [91]:

`
(, ) = (, ){1 + (, ) cos[(, ) + ]}
1
1
{ (, ) = (, ){1 + (, ) cos[(, ) + ]}, (2.1)
`
2
2
`
(, ) = (, ){1 + (, ) cos[(, ) + ]}
3
3

`
де (, ) = (, ) + (, ) – розподіл сумарної інтенсивності предметного та

опорного пучків; (, ) – розподіл інтенсивності предметного пучка, (, ) –

2√ (,) (,)

розподіл інтенсивності опорного пучка, (, ) = – контраст
(,)+ (,)

інтерференційних смуг.
У випадку, коли довільні фазові зсуви , та невідомі, систему рівнянь
2
3
1
(2.1) неможливо розв’язати і, як наслідок, неможливо відтворити ФМ. Тому для
початку потрібно визначити величину цих ЗФОП. Для цього можна використати КП
так, як це описано у працях [81,82]. Згідно з цим підходом ЗФОП можна подати у