Page 46 - Стасишин Дисертація

46

2.1 Реалізація МТКІ

Для реєстрації ІП було вибрано схему інтерферометра Тваймана-Гріна [79].

Після реєстрування трьох ІП (, ), (, ) та (, ), що відрізняються між собою
1
3
2
лише невідомими ЗФОП, достатньо сформувати лише дві різницеві ФМ, з яких
виключено фонову інтенсивність (, ) + (, ) [91]. Крім того, якщо визначити

два фазові зсуви між ІП та і між та , то шукану ФМ можна
3
1
1
12
13
2
реконструювати за допомогою простого аналітичного рівняння без будь-яких
додаткових операцій. Саме цей принцип було використано у запропонованому МТКІ
з двома довільними ЗФОП [91]. У цьому методі здійснюють попереднє

екстрагування довільних ЗФОП із трьох зареєстрованих ІП (, ), (, ) та
1
2
(, ) за допомогою кореляційного підходу (КП) [91] і подальше відтворення ФМ
3
об’єкта досліджень. КП можна використовувати для екстрагування довільних ФЗОП

у діапазоні від 0 до π з низьким рівнем систематичних похибок, як це було показано

у [92]. Отже, якщо ЗФОП не перевищуватимуть π, МТКІ можна ефективно

застосовувати. Крім відтворення ФМ поверхні, метод також містить процедуру

розділення і виділення низькочастотної і високочастотної складових фазових масок,

що розглядаються як дві складові поверхні об’єкта досліджень, і які після сумування

дають повний РП. Якщо ця поверхня є гладкою або наношорсткою, то МТКІ можна

використовувати як для відтворення повного РП цієї поверхні, так і для його

високочастотної і низькочастотної складових. Якщо ж діагностують інженерні

поверхні, то ці складові можна трактувати як тривимірну (3D) шорсткість і 3D

хвилястість відповідно.

Для реалізації методу МТКІ необхідно послідовно виконати два етапи. Під час
першого здійснюють реєстрацію трьох ІП та їх обробку. На стадії обробки цих ІП I 1,

I 2 та I 3 отримують фазовий розподіл (ФМ), який є «грубим» наближенням до
кінцевого. На другому ж етапі розділяють високо- та низькочастотну складову,

фільтрують шуми та отримують окремо хвилястість й шорсткість поверхні. Окремі
операції, що виконують у методі МТКІ, за своєю сутністю дещо схожі до операцій