Page 44 - Стасишин Дисертація

44

РОЗДІЛ 2

МЕТОД ТРИКРОКОВОЇ ФАЗОЗСУВНОЇ ІНТЕРФЕРОМЕТРІЇ ДЛЯ

ВІДТВОРЕННЯ РЕЛЬЄФУ ПОВЕРХНІ ЕЛЕМЕНТІВ КОНСТРУКЦІЙ

За останні роки запропоновано кілька інтерферометричних методів

відтворення РП, у яких використано три ІП, що відрізняються між собою сліпими

ЗФОП [81-84]. Гуо та ін. [80] розробили два самокалібрувальні алгоритми для

оцінювання двох невідомих ЗФОП α 2 і α 3 за трьома інтерферограмами, припускаючи,

що першу інтерферограму реєстрували без фазового зсуву, тобто α 1 = 0, а другу і

третю – з фазовими зсувами α 2 і α 3 відносно першої. Для екстрагування фазових

зсувів відтворювали шукану фазу φ і опорний пучок I r, та визначали мінімальне

значення просторової кореляції поміж предметним пучком I o та I r. Однак кореляція

другого порядку, яка ініціюється взаємним спектром потужності, не описує

нелінійну кореляцію між цими двома пучками (сигналами), оскільки їх спектри

перекриваються дуже слабо. Щоб подолати цей недолік, Гуо [80] запропонував

використовувати кореляцію третього порядку поміж I o та I r, яка описується взаємним

біспектром. Розроблений сліпий самокалібрувальний алгоритм дає можливість

оцінювати випадкові фазові зсуви трьох інтерферограм. Однак обчислювальна

процедура пошуку значень випадкових фазових зсувів складна. Крім того,

комп’ютерне моделювання можна реалізувати лише для фіксованих фазових зсувів,

тобто таких, що використовуються у традиційних фазозсувних алгоритмах і за

наперед заданими зсувами (наприклад, для α i = 0; 2/3π; 4/3π). Тому оцінювання

систематичних і випадкових похибок відтворення профілю або РП можна

здійснювати лише для цих зсувів. Ванг та ін. [84] запропонували метод відтворення

фази, що базується на нормованих різницевих ФМ, що отримані за трьома

інтерферограмами з невідомими ЗФОП. У цьому методі три різницеві ФМ без

сумарного просторового розподілу фонової інтенсивності від опорного і

предметного променів отримували завдяки операціям віднімання інтерферограм

однієї від одної. Щоб усунути амплітудну нерівність між двома різницевими ФМ,

використовували нормувальний підхід і таким чином формували ці мапи. Мапи