Page 40 - Стасишин Дисертація
P. 40

40

             тому  ж  стану  поверхні  і  відрізнятися  лише  ЗФОП.  Ці  ЗФОП  можуть  бути

             фіксованими  і  задаватися  перед  реєстрацією  ІП,  а  можуть  бути  довільними  і

             визначатися  за  аналізом  ІП  [79].  Спочатку  для  розв’язання  цієї  задачі

             використовували  фазозсувні  елементи  (ФЗЕ)  із  фіксованим  ЗФОП,  проте  такі

             елементи потрібно постійно калібрувати, вони дороговартісні та повільні. Згодом

             було  запропоновано  кілька  підходів,  які  б  дозволяли  аналітично  визначати

             невідомий ЗФОП.

                   Для  розв’язання  задачі  знаходження  кута  ЗФОП,  було  запропоновано  кілька

             підходів.  В  основному  ці  підходи  базуються  на  апроксимації  розподілу

             інтенсивності.  Проте  такий  підхід  не  завжди  дає  задовільну  точність  визначення

             довільного ЗФОП у кутовому проміжку 0°…180°. Деякі з цих підходів мають низькі

             похибки,  але  вони  працюють  із  об’єктами  досить  вузького  класу,  такими  як

             амплітудно-фазові транспаранти або ідеально плоскі поверхні. Далі буде розглянуто

             найбільш характерні з них.

                     Одним з перших, хто запропонував алгоритм для визначення довільного ЗФОП

             за двома інтерферограмами та розподілом інтенсивності опорного I r та предметного

             променів I o був Guo та ін. [80]. Недоліком такого методу було те, що потрібно було

             вказати  приблизні  значення  фазових  зсувів.  За  такої  незручної  умови  цей  метод

             придатний для відносно простих об’єктів. Ще один метод визначення довільного

             ЗФОП  було  запропоновано  на  основі  обробки  двох  голограм  [81].  Основний

             принцип цього методу полягав у знаходженні аналітичного виразу за результатами

             обробки  двох  спектрів  голограм,  де  припускали,  що  центр  дифракції  та  перший

             дифракційний  порядок  просторово  рознесенні.  Це  припущення  не  завжди

             виявляється доцільним та ускладнює побудову оптичної складової методу. Одним з

             найбільш успішних підходів можна вважати метод, який запропонували XU та ін.

             [82],  що  полягав  у  використанні  двох  інтерферограм.  Цей  підхід  для  визначення

             довільного ФЗОП використовує метод найменших квадратів. Для тестових гладких


             зразків  цей  підхід  показав  випадкову  похибку  відтворення  рельєфу  ˂  1%,  а  для
             тестових шорстких (зі стандартним відхиленням поверхні λ/30) об’єктів – похибку
   35   36   37   38   39   40   41   42   43   44   45