Page 64 - Дисертація_Сободош_Наталія_Йосипівна
P. 64
64
максимально вимірюваною висотою рельєфу 60 мкм та роздільною здатністю
по вертикалі 5 нм.
Рисунок 2.16 – Зовнішній вигляд інтерференційного профілометра
«Micron-alpha».
Для дослідження топографії поверхні зразків використовували також
оптичний мікроскоп ZEISS Stemi–2000 (рис. 2.17), який призначений для
візуального спостереження мікроструктури металів, сплавів та інших
непрозорих об'єктів у відбитому світлі при прямому освітленні в світлому і
темному полі, а також для дослідження об'єктів в поляризованому світлі. Для
фіксації результатів використовували камеру Sigeta з програмним
забезпеченням.
Рисунок 2.17 – Зовнішній вигляд оптичного мікроскопа ZEISS Stemi–2000.
