Page 63 - Дисертація_Сободош_Наталія_Йосипівна

63

сегментним детектором відбитих електронів (BSD), вторинних електронів для

низького вакууму (VPSE), інфрачервоною камерою для спостереженням за

положенням зразка у камері мікроскопу; робочою камерою розміром 365х220

мм, програмним забезпеченням Smart SEM, що дозволяє виконувати

6
збільшення від 7 до 1×10 разів.
Енергодисперсійний рентгенівський спектрометр INCA ENERGY 350

оснащений літієвим детектором площею 10 мм , що забезпечує роздільну
2
здатність 133 еВ, чутливість визначення домішки 0,01%, локальність аналізу від 1

мкм на стандартних взірцях та до 0,1 мкм на плівках, мікроаналітичним процесорм

INCA X-stream та системою захоплення відеозображення Microscope Image

Capture System (MICS) і програмним забезпеченням Inca Energy, що дає змогу

виконувати: якісний аналіз в діапазоні від берилію до плутонію; кількісний аналіз

в діапазоні від бору до плутонію; автоматичним маркуванням піків; автоматичним

та ручним масштабуванням спектрів; шести режимами отримання спектрів;

реконструкцією спектрів; порівнянням спектрів.

2.5 Дослідження рельєфу поверхні алюмінієвого сплаву оптичною
профілометрією

Дослідження морфології та характеристик рельєфу поверхні тертя

проводили на безконтактному інтерференційному оптичному профілометрі

«Micron-alpha» (рис. 2.16), який призначений для реєстрації мікротопографії

поверхонь методом обробки послідовності інтерференційних картин в білому

світі. «Micron-alpha» дозволяє будувати 2D і 3D зображення поверхні;

кількісно оцінювати характеристики рельєфу поверхні; розраховувати

параметри шорсткості поверхні; обчислювати обсяг виступу (западини);

спостерігати інтерференційні картини; проводити металографічні

дослідження, на ділянці сканування поверхні зразка розмірами 250х340 мкм; з