Page 49 - Thesis_Lavrys

49

 Використання електричних розрядів. Використання під час

азотування електричних розрядів дозволяє формувати шляхом відриву

(дисоціації) від атому, що входить до складу молекулярної частинки азоту,

одного або декількох електронів з утворенням електричних заряджених іонів

азоту. На відміну від молекулярного азоту іони азоту мають високу

кінетичну енергію, завдяки якій процеси дифузії азоту в титан

пришвидшуються в декілька разів. Для азотування титану та його сплавів

переважно використовують тліючий розряд, меншою мірою іскровий розряд.

Даний спосіб азотування в присутності плазмового середовища отримав

назву плазмове азотування (також зустрічається в літературі іонне, іоно-

плазмове азотування, азотування в тліючому розряді та ін.) [91, 122].
Титанову поверхню, яку необхідно зміцнити, роблять катодом або надають їй

негативний потенціал по відношенню до стінок камери (анод). Тобто два
електроди різного потенціалу (як правило, різниця потенціалів становить

500…730 В) поміщаються в середовище азоту за зниженого тиску, в якому
виникає тліючий розряд навколо електрода меншого потенціалу

(оброблювана поверхня) (рис. 1.12). Поверхня нагрівається через передачу

енергії під дією іонного бомбардування. В результаті процесу

високоенергетичний азот переноситься на робочу поверхню титану, а потім

шляхом дифузії проникає вглиб [123].

Рисунок 1.12 – Схема робочої камери для плазмового азотування [122]