Page 31 - НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ
P. 31

31

                      В  останні  роки  гальванічне  хромування  все  частіше  замінюють  іншими

               видами  покриттів  через  наступні  його  недоліки:  обмежену  товщину  одержу-

               ваного  покриття;  низьку  швидкість  його  осадження;  потребує  дотримання

               технологічних  режимів;  висока  вартість  процесу;  негативний  вплив  хімічних

               елементів на людину.



                      1.2.2 Вакуумне (конденсаційне) осадження покриттів



                      В  процесі  вакуумного  осадження  (конденсаційного  напилення)  покриття

               формується з потоку частинок, що знаходяться в атомарному, молекулярному або

                                                                          -5
               іонізованому стані в умовах високого вакууму (10  Па). Вакуумне напилення по-
               діляють  на  іонно-плазмове  (при  іонізації  потоку  напилюваних  частинок)  та  ва-

               куумне конденсаційне (при введенні в потік реактивного газу). Можливості мето-

               дів вакуумного осадження дозволяють отримувати високоякісні покриття товщи-

               ною від десятків нанометрів до сотень мікрометрів з різних матеріалів [14–15].

                      Вакуумним осадженням, на відміну від гальванічного, можливо отримати


               міцніші й пластичніші покриття [16–18].
                      Перевагами методу є: універсальність за розпилюваними речовинами та


               покриттями; висока продуктивність процесу (V n = 1...3 мкм/хв і вище) та якість
               покриттів,  особливо  адгезійна  міцність;  гнучкість  регулювання  параметрів


               процесу; одержання покриттів з рівномірною товщиною.
                      Основним недоліком методу є наявність в потоці значної кількості кон-


               денсованої фази. Використання сепараторів потоку ускладнює конструкцію ус-

               тановок для напилення.



                      1.2.3 Синтез поверхневих оксидних плівок



                      З поверхневих обробок, доступних для алюмінієвих сплавів, найпошире-

               нішими є анодування [19] та плазмоелектролітне оксидування (ПЕО) [20–21].
   26   27   28   29   30   31   32   33   34   35   36