Page 55 - Стасишин Дисертація

55

Мікрорельєф Шорсткість Макрорельєф Хвилястість

λ*,мкм
m
0 λ c0* 100 200 λ c* 300 400 500
0 0 0 0 0

∗
Рисунок 2.4 – Типові діапазони довжин хвиль = 1 для: шорсткості;
⁄

хвилястості; мікро- або нанорельєфу; та макрорельєфу; за: базової довжини
∗
L=250 мкм; довжини хвилі відсікання =250 мкм та середнього арифметичного

значення ШП у межах 0,02 мкм ≤ R a ≤ 0,1 мкм

Ця похибка на пряму залежить від середньоквадратичного відхилення

випадкових похибок маски [ (, )] та маски [ (, )], як це показано у праці

[78]:

2
2
= + + 2 (2.11)

Для зменшення похибки потрібно, щоб відбувалася різка від’ємна кореляція

між похибками та , а сам коефіцієнт кореляції прямував до → − 1.

Виконання такої умови щодо коефіцієнта кореляції призводить до часткової
компенсації похибок і та зменшення похибки у кінцевій ФM [ (, )].

Основним критерієм вибору частоти є особливість структури поверхні

об’єкта дослідження. Якщо ж дивитись на інженерні поверхні, то частоту відсікання

можна визначити за допомогою довжини хвилі = ( ) −1 .