Page 28 - МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ

26

а) б)

в) г)
Рисунок 19 ‒ Зображення отримане за допомогою оптичного мікроскопа (a) та
результати виділення кратерів (б), зображення отримане за допомогою
електронного мікроскопа (в) та результати виділення кратерів (г).

Електронний мікроскоп має набагато вищу роздільну здатність порівняно
з оптичним і, відповідно, виявляє більше дефектів малого розміру. Крім того, під
час обробки зображень з оптичного мікроскопа через шорсткість поверхні деякі
нерівності сприймаються як дефекти великої площі. На досліджуваній ділянці
поверхні оксидокерамічного покриття виявлено один такий дефект поверхні.
Розглянемо розподіл поверхневих дефектів за площею, аналізуючи їх з кроком 1

2
мкм . Найчастіше зустрічаються дефекти з площею 2 мкм . З ростом площі
2
дефектів від 2 до 10 мкм їх кількість стрімко зменшується і далі змінюється
2
2
незначно, а дефектів з площею більше 100 мкм – одиниці (рис. 20).
Запропоновано і обгрунтовано експрес-метод визначення кількості та
розмірів поверхневих дефектів в оксидокерамічних покриттівах за оптичними