Page 12 - АвторефСемак2
P. 12
10
3, 6, 9 МГц. Визначалась зміна величини швидкості ПАХ в обробленій ділянці
зразка відносно необробленої ділянки. Досліджували зразки, які оброблялись
різною кількістю проходів сопла (рис. 8). Видно, що збільшення кількісті проходів
0 2 4 6 8 f, МГц
0
-2
-4
1
2
ΔV/V, % 3
Рис. 9. Залежність зміни швидкості поверхневої акустичної хвилі від
частоти для зразків, підданих абразивно-струменевій обробці з різною
кількістю проходів сопла: 1– один прохід сопла, 2– два проходи сопла,
3 – три проходи сопла.
сопла призводить до збільшення змін величини швидкості ПАХ. На рис. 10
приведені зміни швидкості ПАХ для різних частот після абразивно-струменевої
обробки. Як бачимо, спостерігаються значні зміни (5% і більше) швидкості ПАХ.
0 10 20 30 40 50 60 70 h, мкм
0
1
-1
2
-2
-3
3
-4
∆V/V, %
Рис.10. Зміна швидкості ПАХ різної частоти залежно від глибини
шару зішліфування h: 1 – 3 МГц , 2 – 6 МГц, 3 – 9 МГц.
