Page 14 - АвторефМокрий21

12

різниці ходу d і в деяких положеннях дорівнює нулю. Це вимагає стабілізації
різниці плеч інтерферометра і, відповідно, ускладнення умов вимірювань. В цій
частині отримані результати узгоджуються з відомим фактом про залежність

W, в.о. W, в.о.
4 4

2 2
а
0 0 0
0 100 0,8
100 0,8 200 1,6
200 1,6
d, нм r, мм d, нм r, мм
а б

W, в.о. W, в.о.

4 4

2 2

0 0 0

100 0,8 0 100 0,8

200 1,6 200 1,6
d, нм r, мм d, нм r, мм
в г

W, в.о. W, в.о.
4
4
2 2

0 0 0 0
100 0,8 100 0,8
200 1,6 200 1,6
d, нм r, мм d, нм r, мм
д е

Pис. 2. Залежність чутливості від радіуса оптичного променя r, та різниці
ходу d, довжина ПАХ Λ=1 мм: а − L=0,4 мм, б − L=0,8 мм, в – L=1 мм, г
− L=1,2 мм, д − L=2 мм, е − L=100 мм.

чутливості від різниці ходу, що свідчить про достовірність результатів. У

випадку, коли ширина променя є співмірною із довжиною ПАХ, залежність
чутливості від d зменшується. Але, з іншого боку, з графіків рис. 2 a, б, г, д, е
видно, що чутливість за збільшення ширини променя також зменшується.