Page 38 - ДисертСемак2
P. 38
38
поширюється в тонкому шарі. Відповідно, із збільшенням частоти фазова
швидкість поступово змінюється від значення швидкості поверхневої
акустичної хвилі на поверхні Si до її значення на вільній поверхні ZnO.
При kS<<1 розподіл зміщення такий же, як і при поширенні релеївської
хвилі по вільній поверхні Si (без шару ZnO) (рис. 1.11). При збільшенні kS
зміщення все більше відповідає поверхневим акустичним хвилям на поверхні
ZnO і тільки незначна частина її енергії поширюється в матеріалі підкладки Si.
При kS=10 товщина ZnO відповідає 1,6 довжин поверхневої акустичної хвилі.
Для оцінки розподілу акустичних властивостей в приповерхневих шарах
металу по глибині необхідно здійснити збір даних шляхом вимірювання
швидкості ПАХ на різних частотах (в приповерхневих шарах різної товщини)
та розв’язати обернену задачу («Surface Wave Inversion») – здійснити
реконструкцію акустичних властивостей в шарах на основі виміряних даних на
різних частотах.
Аналіз впливу дисперсії на поширення поверхневих хвиль Релея
приведено в роботі [113]. Тут на основі теорії дифракції аналізуються
поверхневі релеївські хвилі на півпросторі, границя якого має тонке покриття,
яке відрізняється від підкладки густиною, із-за чого виникає частотна дисперсія
фазової швидкості. Отримано дисперсійне рівняння, на основі якого
побудовано графік частотної залежності фазової швидкості. Для моделі
середовища шар-півпростір виведені розрахункові формули для хвильових
відгуків на імпульсну дію, на основі яких показано, що із зростанням відстані
джерело-приймач зростає тривалість хвильового відгуку, збільшується час
затримки його приходу і спадає рівень поверхневої хвилі.
В [114-116] запропоновано метод неруйнівного контролю шорсткості і
зруйнованого шару поверхні гексагонального кристалу та ізотропного твердого
тіла на основі поверхневих акустичних хвиль Релея і горизонтальної
поляризації (Лява). Задача розглядається в наближенні довгих хвиль (по
відношенню до амплітуди шорсткості або товщини зруйнованого поверхневого
